info@panadisplay.com
תהליך אידוי ב AMOLED ייצור

תהליך אידוי ב AMOLED ייצור

Mar 05, 2018

הסיבה OLED יש צבע מעולה ואיכות שלה היא בהירות עצמית. הפליטה העצמית של מסך התצוגה פירושה שגם האור וגם הצבע נפלטים מהפיקסלים עצמם. תפיסה זו מנוגדת לסוג שמשתמש ב- LCD, המקבל אור ממקור אור חיצוני (ביי Guangyuan) ושולט בצבע האור דרך מסנן.


בתצוגה, את הדרך בה פיקסלים נוצרים נקרא דפוסים צבע. תת פיקסלים המבוססים על שלושת הצבעים העיקריים של אדום, ירוק וכחול (בדרך כלל שלושה פיקסלים משנה מהווים פיקסל) חייב להיות בדוגמאות ללא שגיאות, כך המסך של התצוגה יכול להציג את התוכן בדיוק ובדייקנות. אז איך אתה עושה פיקסל OLED עצמית זוהר?


קיימות שיטות שונות בתעשייה, והשיטה הנפוצה ביותר לייצור המוני היא אידוי. כיום, הדרך היחידה להשיג דיוק גבוהה, קיבולת גדולה OLED microelement צבע דפוסים היא באמצעות אידוי.


אידוי הוא אחד התהליכים הליבה של OLED, וזה גם השלב השני של חמשת הצעדים העיקריים של תהליך הייצור OLED.


[LTPS] - [ציפוי קיטור] - [חבילה] - [יחידה] - [מודול]


אם LTPS (polysilicon בטמפרטורה נמוכה) משמש כדי לשלוט על פיקסלים שונים של הארה, תהליך של אידוי היא לייצר את עצמי פיקסל אור זוהר עצמו שיכול לייצר אור וצבע.

בואו נסתכל אחורה.


OLED הוא אור אורגני פולטת שכבת פולטת אדום (R), ירוק (G) וכחול (ב) על מצע זכוכית, ואת המבנה המבני להגנה על אור אורגני פולטת אור. בזהירות התבוננות שכבת הארה אורגני, ניתן לראות כי שכבות עזר כגון HIL ו ETL משולבים יחד. זה עוזר לשפר את היעילות של הארה, מה שהופך את יעילות זוהר גבוה יותר האור הנפלט רק על ידי RGB.


הדרך הנפוצה ביותר ליצירת שכבה אורגנית היא "ציפוי אדים". אידוי דומה אידוי.



כאשר המים מבושלים בסיר, האדים נעשים לתוך הטל על מכסה הסיר. ההבדל הוא ציפוי קיטור משמש להחליף מים עם חומרים אורגניים מחומם במצב ואקום ולא תחת לחץ אטמוספרי רגיל.


ההתאדות חייבת להתבצע בחלל ריק, כלומר במכונה הקרויה תא ריק. הלוח האחורי LTPS נעשה בחדר ואקום עבור דפוסים צבע. (לאחר ביצוע דפוס צבע על המצע הזה, התא יהיה לחתוך ולהשתמש בהתאם לגודל של הטלפון החכם.)


לאחר LTPS הוא עשה היטב והניח בתא ואקום, מסכת מתכת מדויקת (FMM) ממוקם מתחת למצע LTPS. מסכה היא מכשיר עם חור קטן על צלחת דקה, ולכן כאשר חומר אורגני הוא מאודה, זה יכול להיות רק שהופקדו במיקום מסוים. אם המסכה אינה בשימוש, ירוק וכחול יופקדו על אדום (R) פיקסלים כך צבע טהור לא יתקבל. לכן, templet שונים של RGB המקביל מיקום וצורה משמש בזמן שונה במהלך תהליך אידוי.


כאשר המסכה מוכנה, מקור האדים (כגון חומרים אורגניים, כגון חומרים אורגניים) ממוקם מתחת לה ומחומם לטמפרטורה המתאימה. כאשר החימום מתחיל, מולקולות אורגניות קטנות ביחידה המולקולרית לעבור את המסכה לצבור למיקום הרצוי.


דיברנו על הרעיון של ציפוי אדים, שהוא אחד התהליכים הליבה של OLED. אז בואו נסתכל מקרוב על התהליך של דפוסים צבע באמצעות אידוי של ציפוי.


להלן, נמשיך לדבר על אחד התהליכים העיקריים בייצור של OLED, "ציפוי קיטור". בחלק האחרון של "החלק הראשון של הציפוי המהביל", אנו דנים במושג ובעקרון ההתאיידות, ואנו נדון בתהליך הספציפי של ההתאיידות.


תהליך אידוי OLED הראשון יוצר את השכבה האורגנית מעל LTPS (polysilicon בטמפרטורה נמוכה). זכור ש- LTPS הוא מתג המשמש לשליטה בפיקסלים בתצוגה. ב OLED, פיקסלים זוהרים עשויים חומרים אורגניים, אשר אור וצבע על ידי אותות חשמליים. אות המעגל אחראי על LTPS, ולכן LTPS צריך ליצור את הקשר עם שכבת OLED, ואת שיטת היווצרות הושלמה בתהליך "אידוי".


כפי שמוצג באיור לעיל, EML (שכבת פולט) קיים על LTPS הקצב. בתמונה, אנו מציירים רק subxixel אדום כדוגמה. בזהירות התבוננות המבנה, ניתן לראות כי השכבות העזר הם מעל ומתחת EML כדי לשפר את היעילות פליטה של EML.


האלקטרון מוזרק מן הקתודה ל- EIL (שכבת הזרקת אלקטרונים) ומגיע ל- EML דרך ה- ETL (שכבת התחבורה האלקטרונית).


באופן דומה, את החורים מוזרקים מן האנודה לתוך HIL (חור הזרקת השכבה) בצד הנגדי ולהגיע EML דרך HTL (שכבת התחבורה חור). כאשר האלקטרונים והחורים ב- EML נפגשים, הם משלבים ושולחים אור.


מבנה זהה הוא לא רק אדום, אבל אם ירוק וכחול שכבות אור אורגני ניתן ליצור, הם משולבים כדי ליצור פיקסל אחד.


אז, מה הסדר הוא אור אורגני שכבת עשוי, בואו לראות את התהליך באמצעות הנפשות הבאות.



תהליך אידוי בסיסי מתחיל עם העבודה של הסרת לכלוך וזיהומים על המצע של LTPS (המכיל את האנודה). לאחר ניקוי וייבוש המצע, החומר האנודה שיורית מוסר על ידי פלזמה ואת מאפייני הזרקת החור מן האנודה אל HIL משופרת.



לאחר מכן, את היל (חלל הזרקת שכבת) הוא התאדה לחלוטין, ולאחר מכן את HTL (חור שכבת שידור) הוא אדי מצופה כדי ליצור שכבת עזר.


הבא הוא שכבת EML ניאון בפועל, אשר דורש את השימוש של מסכה להפקיד באופן סלקטיבי את המיקום הרצוי.


לאחר מכן, ETL (שהופקדו שכבת התחבורה האלקטרונית) ו EIL (שכבת אלקטרונים מושתלים) מתאדים כדי ליצור שכבת עזר עבור התחבורה אלקטרונים. לבסוף, הקתודה מתאדה כדי להשלים את כל תהליך בתצהיר של שכבת פליטה אורגנית.