הבית > תערוכה > תוכן

דרישות סרט מוקדמות

Jun 20, 2018

דרישות סרט מוקדמות


ריכוזים גבוהים (> כמה אחוזים אטומיים)
של מימן בסרט A-Si יכול לגרום לעניים
איכות לייזר מגובש פולי Si סרטים
- המימן evolves נפץ, גרימת
גבישים הסרט יש בועות / חורים
PECVD A-Si: H חייב להיות dehydrogenated לפני
לייזר קריסטל לייזר
חישול תרמי ( למשל 1 hr ב 450oC)
לייזר נמוך פלואורס anneal
Si אחידות עובי הסרט חייב להיות טוב יותר
± 5%, עבור גודל גרגר אחיד

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png

image.png