הבית > תערוכה > תוכן

ODF-VAS

Nov 15, 2017

מערכת ואקום ליישר

המטרה היא להפוך את TFT ו- CF לתוך תיבות ואקום עם TFT ו- CF.

1.jpg


המבנה הבסיסי הוא כדלקמן

2.jpg

מערכת ואקום Align, זה מורכב של 3 המערכות הבאות

3.jpg

מערכת ואקום Align שעות עבודה, בעיקר בסדר הבא

4.jpg

1.1 מערכת ואקום

מערכת ואקום של AS מורכב בעיקר משאבת ואקום יבש (משאבת יבש) משאבה טורבו מולקולרית;

DP בדרך כלל לוקח רק ואקום על 10Pa;

TMP יכול לקחת את ואקום על 1Pa;


להלן תרשים סכמטי של צינור ואקום של מכונת VAS

5.jpg

1.2 ספיגת זכוכית

מערכת ואקום ליישר, על פי דרישות זכוכית תיבת דיוק, זכוכית לא יכול להיות כל דפורמציה, אלא גם כדי להפחית את ההפרעה של נפילה, ספיחה של זכוכית על המכונה על ידי ספיגת ואקום הוותיק, פיתוח כדי ספיחה אלקטרוסטטית, ולאחר מכן מופיעים כוח מולקולרי ספיחה!

6.jpg

בהתבסס על ספיחה אלקטרוסטטית כוח ספיגה מולקולרית, אנו עושים את ההשוואה הבאה

7.jpg

מערכת קונטרפונקט 1.3

מערכת מיקום, היא פשוט רכישת מצלמה קואורדינטות סמן, באמצעות מערכת עיבוד התמונה, המצע מיקום ההבדל ההבדל, ולאחר מכן את מערכת הבקרה מתאים את מצע המיקום, כדי להשיג יישור מדויק;

8.jpg

תהליך היישור הוא כדלקמן

1. לתפוס למעלה ולמטה מארק קואורדינטות;

9.jpg

2.Calculate theta כפי שמוצג באיור הבא

10.jpg


2. לאחר מכן, את המהלכים התחתון המצע, ונקודת מרכז חדשה Bm'is מחושב

3. לבסוף, Bm'moves למצב אום;