הבית > תערוכה > תוכן

תהליך הייצור של טרנזיסטור סרט דק (TFT)

Oct 19, 2017

תהליך הייצור של TFT מחולק לשישה שלבים: סרט קשה, ניקוי, צילום, תחריט, הפשטה ובדיקה. כפי שמוצג בתמונה

QQ截图20171019145005.png


תהליך הקשחת סרטים

  תהליך הסרט קשה מתייחס לתהליך של יצירת הסרט על זכוכית (זכוכית) על ידי שיטות פיסיקליות או כימיים, כגון אלקטרודה שער, אלקטרודה נתונים (מקור / ניקוז), אלקטרודה פיקסל, בידוד הסרט, הסרט מגן סרט מוליך למחצה.

נתוני אלקטרודות, אלקטרודה, אלקטרודה פיקסל הוא חומר מתכת (אלומיניום, כרום, מוליבדן, ITO), תוך שימוש בשיטה פיזית (המקרטעת), ולאחר מכן יעד (בעיקר מתכת) ופלסמה זכוכית (בין אזור יון ), חומר היעד פורסם על זכוכית. פלזמה (אזור יון) הוא גז לא פעיל מושתל בין שתי אלקטרודות, אשר מוחל על מנת ליצור מתח גבוה ו מייננת. Ionized פעיל שביתות גז על היעד, ולאחר מכן את חומר היעד הוסר לזכוכית כדי ליצור את הממברנה

QQ截图20171019145022.png


סרט בידוד, סרט מגן, סרט מוליכים למחצה הוא השימוש בשיטות כימיות (PECVD פלזמה משופרת ואדים הפקדת) תהליך, משמש לאחר הזרקת גז בין שתי אלקטרודות להחיל כוח תדר גבוה שנוצר על ידי פלזמה (פלזמה), יצירת זכוכית הסרט בדרך

תהליך הניקוי

תהליך הניקוי מתייחס קלט הראשונית או תהליך של זיהום זכוכית או משטח הממברנה, הסרת החלקיקים מראש, כדי למנוע תהליכים שליליים. זה מועיל כדי להבטיח את ההדבקה בין הסרט לבין הסרט. היחידה הראשית הם יחידת ניקוי UV, יחידת ניקוי מברשת, יחידת סוניק מגה, CJ (Cavitation Jet) יחידה.

תהליך צילום

תהליך הצילום מתייחס לפעולה של צורת המסכה המשמשת ליצירת הסרט דרך האור, והמורפולוגיה שלו עוברת ממסכה לציפוי (PR), כולל ציפוי PR, חשיפה והדמיה.

QQ截图20171019145033.png

תהליך תחריט  

תהליך החריטה מתייחס לתהליך של הסרה סלקטיבית של הסרט של הסוכן הרגיש (PR), אשר מוסר באופן סלקטיבי על ידי שיטות פיסיקליות וכימיות. ישנן שתי דרכים של תחריט: 1.Wet תחריט הוא תחריט של חומרים מתכת (אלומיניום, כרום, ITO, מוליבדן) על ידי פתרון כימי; 2.Dry תחריט חיתוך SiNx, A-Si על ידי פלזמה גז.

QQ截图20171019145042.png

תהליך גריעה

    תהליך הפשטה מתייחס לתהליך של הסרת דפוס (PR) שמאל לאחר תהליך תחריט.

תנאי הכרחי עבור תהליך הסרת הממברנה היא להסיר לחלוטין את יחסי הציבור, החלק התחתון של הממברנה לא צריך להיות פגום, אלא גם כדי לשמור על משטח משטח אחיד לתהליך הבא.


הליך איתור

הליך פיקוח מתייחס לחקירה / הערכה של תהליך, מוצרים מוגמרים למחצה, איכות המוצרים כדי לקבוע תהליכים טובים ורעים.